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1、我们使用GPI-ZYGO激光平面干涉仪进行产品表面平整度的测量,测量精度可以达到1/20λ;
2、采用基恩士IM-7000数显轮廓仪、三丰千分表等测量器具,进行产品尺寸的测量,以保证测量精度;
3、使用自准值测角仪、细分多齿分度台等检测设备对产品的角度精度进行测量,测量精度达到±0.2″;
4、表面光洁度指标的检测,依据ISO10110及MIL-O-13830B标准。